Conception et réalisation de références de tensions a base de MEMS ; les MEMS au service de la métrologie : référence de tension alternative pour l'instrumentation et les systèmes embarqués

• Date de parution : 14/06/2013
• Editeur : Presses Academiques Francophones
• EAN : 9783838179964
• Série : (-)
• Support : Papier

• Nombre de pages : 168
• Collection : (-)
• Genre : Sciences appliquées
• Thème : Sciences appliquées Physique
• Prix littéraire(s) : (-)

Les systèmes microélectromécaniques (MEMS) sont d'excellents candidats pour la métrologie électrique. En effet, grâce au couplage électromécanique dans les MEMS, il est possible de réaliser des références secondaires de tension continue (DC) ou alternative (AC) ayant des valeurs de quelques... Voir plus

Les systèmes microélectromécaniques (MEMS) sont d'excellents candidats pour la métrologie électrique. En effet, grâce au couplage électromécanique dans les MEMS, il est possible de réaliser des références secondaires de tension continue (DC) ou alternative (AC) ayant des valeurs de quelques volts à quelques centaines de volts avec des stabilités relatives pouvant atteindre quelques 10-7. Celles-ci peuvent alors être une alternative aux actuelles références Zener dans le cas de la tension continue, et constitueront une première pour la tension alternative puisque aucune référence n'existe hormis celle basée sur l'effet Josephson. Ce travail de thèse a été dédié au développement et à la fabrication de plusieurs générations de structures MEMS à capacité électrique variable dans lesquelles on exploite le phénomène du pull-in pour réaliser des références de tension AC.